Физические основы кремниевой наноэлектроники

Зебрев Г. И. Физические основы кремниевой наноэлектроники : учебное пособие для вузов / Г. И. Зебрев. - 4-е изд., эл.. - Москва : Лаборатория знаний, 2020. - 243 c.. - (Нанотехнологии). - ISBN 9785001018308. - Текст : электронный // ЭБС "Букап" : [сайт]. - URL : https://www.books-up.ru/ru/book/fizicheskie-osnovy-kremnievoj-nanoelektroniki-17839353/ (дата обращения: 07.03.2025). - Режим доступа : по подписке.
₽
₽
Книга посвящена описанию основных физических принципов, структур и методов моделирования, а также тенденций развития современной и перспективной кремниевой наноэлектроники с технологическими нормами менее 100 нм.
Для преподавателей и студентов, специализирующихся по направлениям микро- и наноэлектроники, электроники, электронных измерительных систем. Может быть использована в учебном процессе при подготовке учебных курсов «Физические основы наноэлектроники», «Наноэлектронные технологии», «Физика микроэлектронных структур».