Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем: в 2 ч. Ч. 1
Авторы:
Королев М. А. Крупкина Т. Ю. Ревелева М. А. Чаплыгин Ю. А.
Издательство:
Лаборатория знаний
Год издания:
2020
Дисциплины:
Физика
Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем: в 2 ч. Ч. 1 : Технологические процессы изготовления кремниевых интегральных схем и их моделирование / М. А. Королев, Т. Ю. Крупкина, М. А. Ревелева, Ю. А. Чаплыгин. - 4-е изд., эл.. - Москва : Лаборатория знаний, 2020. - 400 c. - ISBN 9785001018148. - Текст : электронный // ЭБС "Букап" : [сайт]. - URL : https://www.books-up.ru/ru/book/tehnologiya-konstrukcii-i-metody-modelirovaniya-kremnievyh-integralnyh-mikroshem-v-2-ch-ch-1-17837840/ (дата обращения: 07.03.2025). - Режим доступа : по подписке.
₽
₽
Дано представление об основных маршрутах изготовления и конструкциях изделий микроэлектроники на основе кремния. Рассмотрены основные процессы создания интегральных схем: химическая и плазмохимическая обработка материала; введение примесей в кремний; выращивание окисла кремния и его охлаждение; литография; создание металлических соединений и контактов. Приведены методы моделирования процессов распределения примесей в полупроводниковых структурах.
Для студентов и аспирантов, специализирующихся в области микроэлектроники и полупроводниковых приборов, а также специалистов.
Дополнительные материалы
Ещё больше материалов после регистрации
В этом разделе еще нет дополнительных материалов, будьте первыми.
В этом разделе еще нет дополнительных материалов, будьте первыми.
В этом разделе еще нет дополнительных материалов, будьте первыми.
